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Equipements haute performance pour conforter la spécialisation intelligente du territoire

Quartztech - © Quartztech

Les micro et nanotechnologies constituent une spécialité très active et parfaitement reconnue en Franche-Comté. L’Institut FEMTO-ST, fort de ses 700 collaborateurs, chercheurs et ingénieurs, est aujourd’hui un des plus grands laboratoires académique français pluridisciplinaire en Sciences pour l’ingénieur classé A+ par l’Agence d’Evaluation de la Recherche et de l’Enseignement Supérieur (AERES).

Quartztech, une ligne de microfabrication unique en France

L’Institut FEMTO-ST dispose d'un savoir-faire important dans le domaine des microtechniques particulièrement dans les technologies du quartz et du silicium qui sont utilisées pour les capteurs, résonateurs, filtres, transducteurs et modulateurs. Pour concrétiser ses recherches, l’Institut avait besoin d’élaborer des prototypes suffisamment proches des conditions de fabrication industrielles pour mener des études de faisabilité permettant d'aboutir au transfert de connaissance et de savoir-faire vers les entreprises.

C’est dans ce contexte qu’une ligne de fabrication de capteurs à composants à onde de surface ou composants « SAW » (Surface Acoustic Wave) a été acquise. La ligne Quartztech est ainsi venue doter FEMTO-ST d'un outil puissant capable de soutenir et valoriser ses recherches et de favoriser le développement d'une activité économique sur la base de technologies innovantes de microfabrication. Elle a été implantée dans la salle blanche de TEMIS INNOVATION –Maison des Microtechniques en 2009.

Les fonds européens ont apporté 600 000€ sur le montant total de ce projet de 1,9M€.

« Sans les fonds européens, on n’aurait jamais pu mener à bien ce projet » rappelle Nicolas Chaillet, Directeur de FEMTO-ST. « On a acheté cette ligne unique en France grâce aux fonds européens qui ont joué l’effet levier. Aujourd’hui, la ligne a permis de déployer une activité économique. FREQ/N/SYS, spin-off de FEMTO-ST, va développer ses composants pour le contrôle spatial ou la défense grâce à cet équipement. Quatre personnes sont déjà recrutées pour démarrer l’activité. »